流量测量准确度
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±2%读数或1%满度值,以较低者为准(20至100%满度值)
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流量测量线性
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0.5%满度值
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流量测量重复性
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±2%读数或1%满度值,以较低者为准(20至100%满度值)
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零气流量
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5或10(准标)或20slm
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标气流量
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50或100(标准)或200sccm
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渗透透炉温度
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30或35或45℃±0.1℃
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臭氧源输出浓度
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6ppm-liters(稳定性和重复性满足或超过U.S.EPA的要求)
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